FSCU 用途

將 FSCU 嵌入到應用系統中，FSCU 可通過(guò)觸摸屏、PLC、PC 軟件等上位機系統控制國內外主流流量控制器（如北京七星華創(chuàng )、Horiba、MKS、Brooks、Bronkhorst、Alicat 等品牌）及截止閥，可以讀取氣路中壓力信號或溫度信號并進(jìn)行轉換，從而實(shí)現氣路中常用元件的程序控制，實(shí)現溫壓修正、MFC故障診斷、氣路截止等一系列聯(lián)動(dòng)功能。

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體積流量的表示方法

對多數用戶(hù)而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求是很容易實(shí)現的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數, 可以方便地查到，因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現。所以說(shuō),在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

需要注意的是, 被全世界質(zhì)量流量控制器廠(chǎng)商共同采用的sccm/slm這種質(zhì)量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質(zhì)量流量的國際單位（Kg/min）, 但是它符合國際半導體協(xié)會(huì )制定的SEMI國際標準。

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質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么？

(1)  流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準。

對于多數流量測控系統而言，很難避免系統的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動(dòng)將導致較大的誤差；對于質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計。

(2)  測量控制的自動(dòng)化

質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實(shí)現對流量的數字顯示﹑累積流量自動(dòng)計量﹑數據自動(dòng)記錄﹑計算機管理等。對質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現流量的自動(dòng)控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制。

(3)  定量控制流量

質(zhì)量流量控制器可以控制氣體的給定量，這對很多工藝過(guò)程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。

(4)  適用范圍寬

有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）

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質(zhì)量流量控制器在高壓條件下如何使用?

質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn):1, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 2, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號;  3, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調節減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會(huì )超過(guò)規定的范圍。只要做到以上三點(diǎn),  MFC就能夠在高壓條件下穩定工作。

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